Electrical Property of Nano-Crystalline Silicon Thin-Films Prepared by Very High Frequency Plasma Deposition System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Property of Nano-Crystalline Silicon Thin-Films Prepared by Very High Frequency Plasma Deposition System

著者

和文:	中峯嘉文, 小寺哲夫, 内田建, 波多野睦子, 小田俊理.
英文:	Yoshifumi Nakamine, Tetsuo Kodera, Ken Uchida, Mutsuko Hatano, Shunri Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

4C4-4

出版年月

2011年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	24th International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 24)

開催地

和文:
英文:	Nara