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論文・著書情報


タイトル
和文:電子ビーム励起プラズマ中でのC60フラーレン昇華によるアモルファスカーボン膜の合成 
英文: 
著者
和文: 平田敦, ﾊﾞｰｴｽﾞﾀｶﾞﾋﾞ ﾊﾒﾄﾞ.  
英文: ATSUSHI HIRATA, Taghavi Hamed Vaez.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 77    No. 6    pp. 571-575
出版年月 2011年6月5日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.77.571

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