Dry Cleaning for Fe Contaminants on Si and SiO2   Surfaces with Silicon Chlorides

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dry Cleaning for Fe Contaminants on Si and SiO2 Surfaces with Silicon Chlorides

著者

和文:	杉野林志, 奥井芳子, 滋野真弓, 奥野聰, 高崎金剛, 伊藤隆司.
英文:	Rinji Sugino, Yoshiko Okui, Mayumi Shigeno, Satoshi Okuno, Kanetake Takasaki, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Electrochem. Soc.

巻, 号, ページ

Vol. 114 No. 11 pp. 3984-3988

出版年月

1997年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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