Trajectory control of pneumatic servo table with air bearing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Trajectory control of pneumatic servo table with air bearing

著者

和文:	Li Jun, 川嶋健嗣, 香川利春, 藤田壽憲.
英文:	Jun Li, Kenji Kawashima, Toshiharu Kagawa, Toshinori Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	The 2011 International Conference on Fluid Power and Mechatronics
英文:

巻, 号, ページ

DVD-ROM FPM2011 PDF0153

出版年月

2011年8月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 2011 International Conference on Fluid Power and Mechatronics

開催地

和文:
英文:	China