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論文・著書情報


タイトル
和文:ALDによるMgO添加La2O3ゲート絶縁膜の形成及び電気特性評価 
英文: 
著者
和文: 鈴木 拓也, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, 安田哲二.  
英文: 鈴木 拓也, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI, 安田哲二.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第72回応用物理学会学術講演会 
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開催地
和文:山形県 
英文: 

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