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論文・著書情報


タイトル
和文:軟X線光電子分光法を用いたFin構造中の不純物化学結合状態分析 
英文: 
著者
和文: 宮田陽平, 金原潤, 難波覚, 三角元力, 筒井一生, 野平博司, 室隆桂之, 木下豊彦, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Youhei Miyata, Jun Kanehara, satoru nanba, Masao Misumi, KAZUO TSUTSUI, Hiroshi Nohira, 室隆桂之, 木下豊彦, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第72回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:山形県 
英文: 

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