コンダクタンス法による立体チャネルを有するMOSキャパシタの界面準位密度の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	コンダクタンス法による立体チャネルを有するMOSキャパシタの界面準位密度の評価
英文:

著者

和文:	LiWei, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Wei Li, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第72回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	山形県
英文: