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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Influence of CO/H2 gas mixture ratio on the structure of carbon thin films by PECVD 
著者
和文: 森 伸介, 鈴木 正昭.  
英文: Shinsuke Mori, Masaaki Suzuki.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)アブストラク集 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 25
出版年月 2011年7月19日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第24回プラズマ材料科学シンポジウム 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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