RF MEMS高可変率インダクタの形状に関する検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	RF MEMS高可変率インダクタの形状に関する検討
英文:	A Study of RF MEMS Inductor with High Tunability

著者

和文:	白根篤史, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉.
英文:	Atsushi Shirane, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第 72 回応用物理学会学術講演会講演予稿集(2011 秋山形大学) 30a-E-13
英文:

巻, 号, ページ

pp. 22-013

出版年月

2011年8月30日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第 72 回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	山形
英文: