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論文・著書情報


タイトル
和文:VHF プラズマにより作製したナノ結晶シリコンの光学的特性 
英文: 
著者
和文: 染野 健, 宇佐美浩一, 小寺哲夫, 河野行雄, 波多野睦子, 小田俊理.  
英文: Ken Someno, kouichi usami, Tetsuo Kodera, Yukio Kawano, Mutsuko Hatano, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 31p-P6-3
出版年月 2011年8月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第72回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:山形市 
英文: 

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