Self-limited growth of La oxides with ALD | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Self-limited growth of La oxides with ALD
英文:

著者

和文:	小澤健児, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, ト部友二, 安田哲二.
英文:	Kenji Ozawa, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI, ト部友二, 安田哲二.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年

出版者

和文:
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会議名称

和文:	複合創造領域シンポジウム
英文:

開催地

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英文:

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