Effects of corners of channel cross-section on electrical performance of silicon nanowire field-effect transistors

論文・著書情報

タイトル

和文:	Effects of corners of channel cross-section on electrical performance of silicon nanowire field-effect transistors
英文:

著者

和文:	佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 大毛利健治, 名取研二, 山田啓作, 岩井洋.
英文:	Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 大毛利健治, KENJI NATORI, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第16回研究会）
英文:

開催地

和文:
英文: