La2O3 のALD成長のための原料選択：シクロペンタジエニル錯体とアミディネート錯体の比較

論文・著書情報

タイトル

和文:	La2O3 のALD成長のための原料選択：シクロペンタジエニル錯体とアミディネート錯体の比較
英文:

著者

和文:	小澤健児, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, ト部友二, 安田哲二.
英文:	Kenji Ozawa, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI, ト部友二, 安田哲二.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第16回研究会）
英文:

開催地

和文:
英文: