「超音波浮揚式非接触型2次元ステージの開発」（分担） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	「超音波浮揚式非接触型2次元ステージの開発」（分担）
英文:

著者

和文:	小山大介, 中村健太郎.
英文:	Daisuke KOYAMA, KENTARO NAKAMURA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	樋口俊郎，大岡昌博監修：アクチュエータ研究開発の最前線
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年8月

出版者

和文:	エヌ・ティ・エス
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会議名称

和文:
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開催地

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英文:

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