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論文・著書情報
タイトル
和文:
セラミックス表面から直接放出される活性酸素種の真空プロセス応用
英文:
Applications of Reactive Oxygen Species Generated from Ceramic Surface to Vacuum Processes
著者
和文:
林 克郎
.
英文:
Katsuro Hayashi
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
村田学術振興財団年報
英文:
Annual Report of the Murata Science Fundation
巻, 号, ページ
No. 25
532-537
出版年月
2011年12月
出版者
和文:
英文:
©2007
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