セラミックス表面から直接放出される活性酸素種の真空プロセス応用 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	セラミックス表面から直接放出される活性酸素種の真空プロセス応用
英文:	Applications of Reactive Oxygen Species Generated from Ceramic Surface to Vacuum Processes

著者

和文:	林克郎.
英文:	Katsuro Hayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	村田学術振興財団年報
英文:	Annual Report of the Murata Science Fundation

巻, 号, ページ

No. 25

532-537

出版年月

2011年12月

出版者

和文:
英文:

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