表面導電性を考慮した微小誘電体静電マニピュレーション信頼性の向上

論文・著書情報

タイトル

和文:	表面導電性を考慮した微小誘電体静電マニピュレーション信頼性の向上
英文:	Improving Reliability in Electrostatic Manipulation of a Dielectric Micro-particle Considering Surface Conductivity

著者

和文:	藤原亮, 山島篤志, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Ryo FUJIWARA, Atsushi Yamashima, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2010年度精密工学会春季ん大会論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp.641-642

出版年月

2010年3月

出版者

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会議名称

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開催地

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