Automatic parameter optimization of the local model fitting method for single-shot surface profiling.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Automatic parameter optimization of the local model fitting method for single-shot surface profiling.

著者

和文:	Mori, S., Ogawa, H., Kitagawa, K., 入江伸明, 杉山将, 小川正裕, 北川成一郎, Irie, K..
英文:	Mori, S., Ogawa, H., Kitagawa, K., Irie, K., Sugiyama, M., Ogawa, H., Kitagawa, K., Irie, K..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Optics

巻, 号, ページ

Vol. 50 no. 21 pp. 3773-3780

出版年月

2011年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI