Thermally Grown Silicon Nitride Films for High Performance MNS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermally Grown Silicon Nitride Films for High Performance MNS Devices

著者

和文:	伊藤隆司, 野崎尊夫, 荒川秀貴, 篠田政一.
英文:	Takashi Ito, Takao Nozaki, Hideki Arakawa, Masaichi Shinoda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Phisics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 32 No. 5 pp. 330-331

出版年月

1978年

出版者

和文:
英文:	American Institute of Physics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: