Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Direct Thermal Nitridation of Silicon Dioxide Films in Ammonia Gas 
著者
和文: 伊藤 隆司, 野崎尊夫, 石川 元.  
英文: Takashi Ito, Takao Nozaki, Hajime Ishikawa.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of The Electrochemical Society 
巻, 号, ページ Vol. 127    No. 9    pp. 2053-2057
出版年月 1980年 
出版者
和文: 
英文:The Electrochemical Society 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.