Retardation of Destructive Breakdown of SiO2 Films Annealed in Ammonia Gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Retardation of Destructive Breakdown of SiO2 Films Annealed in Ammonia Gas

著者

和文:	伊藤隆司, 荒川秀貴, 野崎尊夫, 石川元.
英文:	Takashi Ito, Hideki Arakawa, Takao Nozaki, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of The Electrochemical Society

巻, 号, ページ

Vol. 127 No. 10 pp. 2248-2251

出版年月

1980年

出版者

和文:
英文:	The Electrochemical Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: