Ammonia Annealed SiO2 Films for Thin Gate Insulators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ammonia Annealed SiO2 Films for Thin Gate Insulators

著者

和文:	加藤一郎, 伊藤隆司, 井上信市, 中村哲夫, 石川元.
英文:	Ichiro Kato, Takashi Ito, Shnichi Inoue, Tetsuo Nakamura, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics. Supplement

巻, 号, ページ

Vol. 21-1 pp. 153-158

出版年月

1982年

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Applied Phisics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: