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論文・著書情報


タイトル
和文:Siの熱窒化による薄膜生成とその界面 
英文: 
著者
和文: 伊藤隆司.  
英文: Takashi Ito.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:材料科学 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 20    No. 4    pp. 196-200
出版年月 1984年1月25日 
出版者
和文:日本材料学会 
英文: 
会議名称
和文: 
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開催地
和文: 
英文: 

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