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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Interfacial Oxidation of Silicon Substrates through Ta2O5 
著者
和文: 加藤 隆, 伊藤 隆司.  
英文: Takashi Kato, Takashi Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of The Electrochemical Society 
巻, 号, ページ Vol. 135    No. 10    pp. 2586-2590
出版年月 1988年10月1日 
出版者
和文: 
英文:The Electrochemical Society 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
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英文: 

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