Removing Native Oxide from Si (001) Surfaces using Photoexcited Fluorine Gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Removing Native Oxide from Si (001) Surfaces using Photoexcited Fluorine Gas

著者

和文:	青山敬幸, 山崎辰也, 伊藤隆司.
英文:	Takayuki Aoyama, Tatsuya Yamazaki, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Phisics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 59 No. 11 pp. 2576-2578

出版年月

1991年11月1日

出版者

和文:
英文:	American Institute of Physics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: