Synchrotron Radiation Assisted Removal of Oxygen and Carbon Contaminants from a Silicon Surface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synchrotron Radiation Assisted Removal of Oxygen and Carbon Contaminants from a Silicon Surface

著者

和文:	奈良安雄, 杉田義博, 中山範明, 伊藤隆司.
英文:	Yasuo Nara, Yoshihiro Sugita, Noriaki Nakayama, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 30 No. 10A pp. L1753-L1755

出版年月

1991年10月1日

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Applied Phisics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: