Nonuniformities of Native Oxide on Si(001) Surfaces Formed during Wet Chemical Cleaning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nonuniformities of Native Oxide on Si(001) Surfaces Formed during Wet Chemical Cleaning

著者

和文:	青山敬幸, 山崎辰也, 伊藤隆司.
英文:	Takayuki Aoyama, Tatsuya Yamazaki, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Phisics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 61 No. 1 pp. 102-104

出版年月

1992年7月6日

出版者

和文:
英文:	American Institute of Physics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: