Synchrotron Radiation-Assisted Silicon Homoepitaxy at 100 ℃ Using Si2H6/H2 Mixture

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synchrotron Radiation-Assisted Silicon Homoepitaxy at 100 ℃ Using Si2H6/H2 Mixture

著者

和文:	奈良安雄, 杉田義博, 堀内敬, 伊藤隆司.
英文:	Yasuo Nara, Yoshihiro Sugita, Kei Horiuchi, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Phisics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 61 No. 1 pp. 93-95

出版年月

1992年7月6日

出版者

和文:
英文:	American Institute of Physics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: