Synchrotron Radiation-Assisted Silicon Film Growth by lrradiation Parallel to the Substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synchrotron Radiation-Assisted Silicon Film Growth by lrradiation Parallel to the Substrate

著者

和文:	奈良安雄, 杉田義博, 堀内敬, 伊藤隆司.
英文:	Yasuo Nara, Yoshihiro Sugita, Kei Horiuchi, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 31 No. 8 pp. 2333-2337

出版年月

1992年6月20日

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Applied Phisics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: