Removal of Fe and Al on a Silicon Surface Using UV-Excited Dry Cleaning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Removal of Fe and Al on a Silicon Surface Using UV-Excited Dry Cleaning

著者

和文:	杉野林志, 奥井芳子, 奥野正樹, 滋野真弓, 佐藤泰久, 大沢昭, 伊藤隆司.
英文:	Rinshi Sugino, Yoshiko Okui, Masaki Okuno, Mayumi Shigeno, Yasuhisa Sato, Akira Osawa, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEICE TRANSACTIONS on Electronics

巻, 号, ページ

Vol. E-75-C No. 7 pp. 829-833

出版年月

1992年7月20日

出版者

和文:
英文:	The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: