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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Intermittent Ultraviolet lrradiation for Silicon Selective Epitaxial Growth 
著者
和文: 宮田 典男, 山崎 辰也, 有本 由弘, 伊藤 隆司.  
英文: Norio Miyata, Tatsuya Yamazaki, Yoshihiro Arimoto, Takashi Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Applied Phisics Letters 
巻, 号, ページ Vol. 62    No. 8    pp. 588-590
出版年月 1992年12月7日 
出版者
和文: 
英文:American Institute of Physics 
会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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