Electrical Characteristics of Silicon Devices after UV-Excited Cleaning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Characteristics of Silicon Devices after UV-Excited Cleaning

著者

和文:	佐藤泰久, 杉野林志, 奥野正樹, 中西俊郎, 伊藤隆司.
英文:	Yasuhisa Sato, Rinshi Sugino, Masaki Okuno, Toshiro Nakanishi, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEICE Transaction on Electronics

巻, 号, ページ

Vol. E-76C No. 1 pp. 41-45

出版年月

1993年1月25日

出版者

和文:
英文:	The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: