Surface Cleaning for Si Epitaxy Using Photoexcited Fluorine Gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Cleaning for Si Epitaxy Using Photoexcited Fluorine Gas

著者

和文:	青山敬幸, 山崎辰也, 伊藤隆司.
英文:	Takayuki Aoyama, Tatsuya Yamazaki, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of The Electrochemical Society

巻, 号, ページ

Vol. 140 No. 2 pp. 366-371

出版年月

1993年2月1日

出版者

和文:
英文:	The Electrochemical Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: