Fine Pattern Etching of Silicon Using SR-Assisted lonization of CP4 Gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fine Pattern Etching of Silicon Using SR-Assisted lonization of CP4 Gas

著者

和文:	奈良安雄, 杉田義博, 堀内敬, 伊藤隆司.
英文:	Yasuo Nara, Yoshihiro Sugita, Kei Horiuchi, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Photopolymer Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 6 No. 4 pp. 617-24

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:	The Conference of Photopolymer Science and Technology

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: