Effect of Fluorine on Boron Diffusion in Thin Silicon Dioxides and Oxynitride

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Fluorine on Boron Diffusion in Thin Silicon Dioxides and Oxynitride

著者

和文:	青山敬幸, 鈴木邦広, 田代浩子, 戸田陽子, 山崎辰也, 高崎金剛, 伊藤隆司.
英文:	Takayuki Aoyama, Kunihiro Suzuki, Hiroko Tashiro, Yoko Toda, Tatsuya Yamazaki, Kanetake Takasaki, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 77 No. 1 pp. 417-419

出版年月

1994年9月20日

出版者

和文:
英文:	American Institute of Physics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: