Simultaneous Temperature Measurement of Wafers in Chemical Mechanical Polishing of Silicon Dioxide Layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Simultaneous Temperature Measurement of Wafers in Chemical Mechanical Polishing of Silicon Dioxide Layer

著者

和文:	杉本文利, 有本由弘, 伊藤隆司.
英文:	Fumitoshi Sugimoto, Yoshihiro Arimoto, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 34 No. 12A pp. 6314-6320

出版年月

1995年12月15日

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Applied Phisics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: