Thermally Nitrided Silicon Films By Direct Reaction

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermally Nitrided Silicon Films By Direct Reaction

著者

和文:	伊藤隆司, 野崎尊夫, 荒川秀貴, 土屋真平, 篠田政一, 古川由紀夫.
英文:	Takashi Ito, Takao Nozaki, Hideki Arakawa, Shinpei Hijiya, Masaichi Shinoda, Yukio Fukukawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abs. of 150th ECS Fall Meeting

巻, 号, ページ

p. 310

出版年月

1976年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Abs. of 150th ECS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Las Vegas