Ammonia Annealed SiO2. Films for Thin Gate Insulators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ammonia Annealed SiO2. Films for Thin Gate Insulators

著者

和文:	加藤一郎, 伊藤隆司, Shinichi Inoue, 中村哲夫, 石川元.
英文:	Ichiro Kato, Takashi Ito, Shinichi Inoue, Tetsuo Nakamura, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abs. on 13th Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

pp. 73-74

出版年月

1981年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abs. on 13th Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文:	Tokyo