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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Thermal Nitride Capacitors for High Density RAMs 
著者
和文: 田口 真男, 伊藤 隆司, 深野 哲, 中村 哲夫, 石川 元.  
英文: Masao Taguchi, Takashi Ito, Tetsu Fukano, Tetsuo Nakamura, Hajime Ishikawa.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Tech. Dig. of IEDM 
巻, 号, ページ         pp. 400-403
出版年月 1981年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Tech. Dig. of IEDM 
開催地
和文: 
英文:Washington DC 

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