Thermal Nitride Thin Films for VLSI Circuits

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermal Nitride Thin Films for VLSI Circuits

著者

和文:	伊藤隆司, 加藤一郎, 中村哲夫, 石川元.
英文:	Takashi Ito, Ichiro Kato, Tetsuo Nakamura, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of Symp. on Silicon Nitride Thin Insulating Films, ECS

巻, 号, ページ

pp. 295-301

出版年月

1983年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. of Symp. on Silicon Nitride Thin Insulating Films, ECS

開催地

和文:
英文:	Boston