ZrSi2 for LSI Contat System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	ZrSi2 for LSI Contat System

著者

和文:	武藤勝, 加藤隆, 伊藤隆司, 石川元.
英文:	Masaru Muto, Takashi Kato, Takashi Ito, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of Tech. papers on Int. Symp. on VLSI Tech. Sys. and Appli.

巻, 号, ページ

pp. 143-144

出版年月

1985年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. of Tech. papers on Int. Symp. on VLSI Tech. Sys. and Appli.

開催地

和文:
英文:	Taiwan