A Nitride Isolated Molybdenum-Polysilicon Gate Electrode

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Nitride Isolated Molybdenum-Polysilicon Gate Electrode

著者

和文:	伊藤隆司, 堀江博, 深野哲, 石川元.
英文:	Takashi Ito, Hiroshi Horie, Tetsu Fukano, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Dig. of Tech. Papers on 1985 Symp. on VLSI Tech.

巻, 号, ページ

pp. 60-61

出版年月

1985年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Dig. of Tech. Papers on 1985 Symp. on VLSI Tech.

開催地

和文:
英文:	Oiso