Current Status of Surface Nitridation on Silicon and Silicon-Dioxide

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Current Status of Surface Nitridation on Silicon and Silicon-Dioxide

著者

和文:	伊藤隆司, 石川元.
英文:	Takashi Ito, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 5th Int. Symp. on Silicon Mat. Sci, and Tech., ECS Fall Meeting

巻, 号, ページ

pp. 484-497

出版年月

1986年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. 5th Int. Symp. on Silicon Mat. Sci, and Tech., ECS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Boston