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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Ultra Shallow p+ /n Junction Formed by Photo-Enhanced Low-Temperature Epitaxy 
著者
和文: 山崎 辰也, 渡辺 悟, 杉井 寿博, 伊藤 隆司.  
英文: Tatsuya Yamazaki, Satoru Watanabe, Toshihiro Sugii, Takashi Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Tech. Dig. of IEDM 
巻, 号, ページ         pp. 586-589
出版年月 1987年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Tech. Dig. of IEDM 
開催地
和文: 
英文:Washington DC 

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