Through-Oxide Cleaning of Silicon Surface by Photo-Excited Radicals

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Through-Oxide Cleaning of Silicon Surface by Photo-Excited Radicals

著者

和文:	杉野林志, 奈良安雄, 山崎辰也, 渡辺悟, 伊藤隆司.
英文:	Rinshi Sugino, Yasuo Nara, Tatsuya Yamazaki, Satoru Watanabe, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abs. of 19th Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

pp. 207-208

出版年月

1987年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abs. of 19th Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文:	Tokyo