Photochemical Cleaning of Silicon Wafers with Halogen Radicals

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Photochemical Cleaning of Silicon Wafers with Halogen Radicals

著者

和文:	伊藤隆司, 杉野林志, 山崎辰也, 渡辺悟, 奈良安雄.
英文:	Takashi Ito, Rinshi Sugino, Tatsuya Yamazaki, Satoru Watanabe, Yasuo Nara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	1987 ECS Fall Meeting

巻, 号, ページ

pp. 1076-1077

出版年月

1987年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	1987 ECS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Honolulu