Pseudo-HBT with Polysilicon Emitter Contact and an Ultra shallow Highly Doped Base by Photoepitaxy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pseudo-HBT with Polysilicon Emitter Contact and an Ultra shallow Highly Doped Base by Photoepitaxy

著者

和文:	鈴木邦広, 深野哲, 山崎辰也, 土屋真平, 伊藤隆司, 石川元.
英文:	Kunihiro Suzuki, Tetsu Fukano, Tatsuya Yamazaki, Shinpei Hijiya, Takashi Ito, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Tech. Dig. of, IEDM

巻, 号, ページ

pp. 811-813

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Tech. Dig. of, IEDM

開催地

和文:
英文:	Washington DC