Reliability Improvement of the MOS Structures Using Photo-Excited Dry Cleaning Before Oxidation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Reliability Improvement of the MOS Structures Using Photo-Excited Dry Cleaning Before Oxidation

著者

和文:	佐藤泰久, 杉野林志, 奥野正樹, 伊藤隆司.
英文:	Yasuhisa Sato, Rinshi Sugino, Masaki Okuno, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of Int. Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abst. of Int. Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文:	Tokyo