Diborane Addition Effect on Second Order Reactions of Si Photo-CVD under Vacuum Ultraviolet lrradiation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Diborane Addition Effect on Second Order Reactions of Si Photo-CVD under Vacuum Ultraviolet lrradiation

著者

和文:	渡辺悟, 伊藤隆司.
英文:	Satoru Watanabe, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of Int. Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

pp. 345-346

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abst. of Int. Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文:	Tokyo