Wafer Bonding and Thinning for High-Speed SOI Epitaxial-Base Transistor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Wafer Bonding and Thinning for High-Speed SOI Epitaxial-Base Transistor

著者

和文:	袋田淳史, Toru Miyabo, 児島学, 深野哲, 日垣直, 山崎辰也, 杉井寿博, 有本由弘, 伊藤隆司.
英文:	Atsushi Fukuroda, Toru Miyabo, Manabu Kojima, Tetsu Fukano, Naoshi Higaki, Tatsuya Yamazaki, Toshihiro Sugii, Yoshihiro Arimoto, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of Int. Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

pp. 168-169

出版年月

1991年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abst. of Int. Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文:	Tokyo