UV Excited Dry Cleaning of Silicon Surfaces Contaminated with lron and Aluminum

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	UV Excited Dry Cleaning of Silicon Surfaces Contaminated with lron and Aluminum

著者

和文:	杉野林志, 奥野正樹, 奥井芳子, 滋野真弓, 佐藤泰久, 大沢昭, 伊藤隆司.
英文:	Rinshi Sugino, Masaki Okuno, Yoshiko Okui, Mayumi Shigeno, Yasuhisa Sato, Akira Osawa, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 2nd Int. Symp. on Cleaning Technology in Semicon. Device Manufacturing, ECS Fall Meeting

巻, 号, ページ

pp. 512-513

出版年月

1991年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. of 2nd Int. Symp. on Cleaning Technology in Semicon. Device Manufacturing, ECS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Phoenix